产品别名 |
闪测仪 |
面向地区 |
四、 技术规格
表1:
型号
| VX3030
| VX3030D
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图像传感器
| 500万像素CMOS
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显示器
| 机身显示器
| 10.4英寸 LCD显示器(XGA:1024×768)
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外接显示器
| 24英寸 LCD显示器(XGA:1920×1080)
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受光镜头
| 双远心镜头
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照明系统
| 落射系统
| 四分割照明(白光)
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透射系统
| 远心透过照明(绿色)
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测量视野
| 广视野(mm)
| 20×L120
| 20×L120
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(mm)
| /
| 6×L106
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图像测量重复精度
| 广视野
| 座标台未移动
| ±0.5μm
| ±0.5μm
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座标台移动
| ±1μm
| ±1μm
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| 座标台未移动
| /
| ±0.1μm
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座标台移动
| /
| ±0.5μm
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图像测量测量精度
| 无拼接*1
| 广视野
| ±2μm
| ±2μm
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| /
| ±0.7μm
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有拼接*2
| 广视野
| ±(4+0.02L)μm
| ±(4+0.02L)μm
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| /
| ±(2+0.02L)μm
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测量软件
| VisionX
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显示分辨率
| 0.1μm
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支持触发测头
| 不支持
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XY电动 座标台
| X移动范围
| 100mm
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Y移动范围
| ————————
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承重
| 2kg
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Z向电动 座标台
| 移动范围
| 35mm
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标尺精度
| ————————————
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外形尺寸(L×W×H) mm
| 500×260×635mm
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重量
| 30kg
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工作电源
| AC220V/50Hz
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工作环境
| 温度10℃~35℃,湿度30~80%,振动<0.002g,低于15Hz
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*1 在调焦位置,使用环境温度为+20℃±1.0℃时。
*2 在调焦位置,使用环境温度为+20℃±1.0℃时、载物台上搭载重量为1kg以下、L为载物台移动量(mm)。